PVD是一种出色的真空镀膜工艺,可改善耐磨性和耐腐蚀性。它对于功能性应用非常需要,例如工具,装饰件,光学增强,模具,模具和刀片。这些只是各种各样已经建立好的应用程序的几个例子。
此技术中使用的设备维护成本低,并且对环境无害。PVD涂层的好处很多。如PVD可以提供真正*特的优势,从而增加产品的耐用性和价值。沉积技术在机加工过程中具有重要作用。
机加工工具可能是紧急的应用之一,需要一些特性,例如高温下的硬度,气相沉积设备价格,高耐磨性,化学稳定性,韧性和刚度。此外,PVD还能够生产具有优异附着力,均匀层,闽台气相沉积设备,设计结构,渐变特性,可控形态,材料和特性的高度多样性的涂层。
CVD 制备铱高温涂层人们之所以对作涂层材料感兴趣是由于这类金属优良的性能 。铱具有较强的能力和较高的熔点而受到重视, 是一种较理想的高温涂层材料 。
20 世纪 60 年代以来, 世界航空航天技术飞速发展,一些高熔点材料(如石墨碳和钨钼钽铌等难熔金属)被大量使用,气相沉积设备制造商,但这些材料的一个共同的致命缺点是能力差。
60 年代美国材料实验室(AFML)对石墨碳的铱保护涂层进行过大量的研究, 采用了多种成型方法制备铱涂层 ,其中包括化学气相沉积法 。虽然没有制备出质量令人满意的厚铱涂层, 但仍认为 CVD 是一种非常有希望且值得进一步研究的方法。
溅射镀膜
溅射镀膜,是不采用蒸发技术的物理气相沉积方法。施镀时,气相沉积设备厂商,将工作室抽成真空,充入氢气作为工作气体,并保持其压力为0.13-1.33Pa,以沉积物质作为靶(阴极)并加上数百至数千伏的负压,以工件为阳极,两侧灯丝带负压(-30-100v)。加热灯丝至1700℃左右时,灯丝发射出的电子使氢气发生辉光放电,产生出氢离子H+,H+被加速轰击靶材,使靶材迸发出原子或分子溅射到工件表面上,形成沉积层。
溅射法可用于沉积各种导电材料,包括高熔点金属及化合物。如果用TiC作靶材,便可以在工件上直接沉积TiC涂层。当然,也可以用金属Ti作靶,再导入反应气体,进行反应性溅射,溅射涂层均匀但沉积速度慢,不适于沉积105mm以上厚度的涂层。溅射可使基体温度升高到500-600℃,因此,只适用于在此温度下具有二次硬化的钢制模具加工。