CVD法具有如下特点:可在大气或低于大气压下进行沉积金属、合金、陶瓷和化合物涂层,能在形状复杂的基体上或颗粒材料上沉积涂层。涂层的化学成分和结构较易准确控制,也可制备具有成分梯度的涂层。
涂层与基体的结合力高,设备简单操作方便,但它的处理温度一般为900-1200℃,工件被加热到如此高的温度会产生以下问题:
(1)工件易变形,心部组织恶化,性能下降。
(2)有脱碳现象,晶粒长大,残留奥氏体增多。
(3)形成ε相和复合碳化物。
(4)处理后的母材必须进行淬火和回火。
(5)不适用于低熔点的金属材料。
镀膜技能在刀具、模具等金属切削加工东西方面的运用。在生活中咱们会看到金黄色的、钴铜色的、黑色的等七杂八色的钻头、铣刀、模具等,这些即是通过镀膜技能加工后的涂层东西。
(1)金黄色的是在刀具上涂镀了TiN、ZrN涂层。TiN是一代运用广泛的硬质层资料。
(2)黑色的是在切削东西上涂了TiC、CrN涂层。
(3)钴铜色的是在刀具上镀涂了TiALN涂层。
20世界80年代早期随着等离子体辅助PVD工艺的显露,中国台湾镀膜设备,CVD在工具方面的应用衰落了。但由于这种工艺具有非常好的渗入特性,其在CVI、ALE等领域的工艺中有着很好的应用前景,主要用于金属涂层、陶瓷涂层、无机涂层材料。
金属**化合物CVD(MOCVD)工艺被广泛用于电子工业,真空镀膜设备,例如生产AI和GaAs膜,当用于生长单晶材料膜时,这种工艺称为金属**气相外延(MDVPE)。
原子层外延(ALE)CVD是一种CVD衍生方法,可以控制膜的成长,现在该工艺已用于生产电荧光膜。
化学气相沉积工艺是这样一种沉积工艺,被沉积物体和沉积元素(单元或多元)蒸发化合物置于反应室,当高温气流进入反应室时,真空镀膜设备厂,可控制的反应室可使其发生一种合适的化学反应,导致被沉积物体的表面形成一种膜层,同时将反应产物及多余物从反应室蒸发排除。
镀膜机工艺在防伪技能中的运用防伪膜品种许多,从运用办法可分为反射式和透射式;从膜系附着办法能够分为直接镀膜式、直接镀膜式或直接镀膜剪贴式。