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真空镀膜机扩散泵维修与保养  

扩散泵是真空镀膜机很重要的部件，大家都知道，真空镀膜机是在真空状态下工作的，那么真空腔体要达到真空，扩散泵的。然而要保证真空镀膜机长期稳定工作，**高分子镀膜设备厂家，扩散泵保养和维护是的环节。

1、扩散泵工作过程中冷却水必须保证畅通，停止加热后必须保证泵工作液已完全冷却后方可关闭冷却水。

2、扩散泵停止工作时，**高分子镀膜设备哪里好，泵内应保持真空状态，**高分子镀膜设备哪有卖，以免泵油劣化。

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采用真空镀膜技术代替传统的电镀技术，不仅可以节省大量的薄膜材料，降低能源消耗，而且可以消除湿法镀膜对环境的污染。因此，国外已采用真空镀膜工艺代替电镀工艺。

真空镀膜机具有真空度高、抽速快、基片装卸方便的特点，配备 E 型电子束蒸发源和电阻蒸发源。PID自动控温，具有成膜均匀、放气量小和温度均匀的优点。E 型电子束蒸发、电阻热蒸发源组件（可选配）、样品掩膜挡板系统、真空获得系统及真空测量系统、分子泵真空机组或低温泵真空机组、旋转基片加热台、工作气路、样品传递机构，膜厚控制系统、电控系统、恒温冷却水系统等组成。可选件：膜厚监控仪，恒温制冷水箱。